| | стандартами безопасности | | | | применительно к условиям работы со | | | | взрывчатыми веществами военного | | | | назначения; | | | | в) специально разработанные или | | | | оцениваемые как радиационно | | | | стойкие, выдерживающие более | | | | 3 5 | | | | 5 х 10 Гр (Si) [5 х 10 рад] без | | | | ухудшения эксплуатационных | | | | характеристик; или | | | | г) специально разработанные для | | | | работы на высотах, превышающих | | | | 30 000 м | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.2.7. | Узлы или блоки, специально | | | | разработанные для станков, или | | | | системы для контроля или измерения | | | | размеров: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.2.7.1. | Линейные измерительные элементы | 9031 | | | обратной связи (например, | | | | устройства индуктивного типа, | | | | калиброванные шкалы, | | | | инфракрасные системы или | | | | лазерные системы), имеющие | | | | полную точность менее (лучше) | | | | 3 | | | | [800 + (600 х L х 10 ) нм (L - | | | | эффективная длина в миллиметрах) | | | | Особое примечание. | | | | Для лазерных систем применяется | | | | также примечание к пункту | | | | 2.2.5.2.1; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.2.7.2. | Угловые измерительные элементы | 9031 | | | обратной связи (например, | | | | устройства индуктивного типа, | | | | калиброванные шкалы, | | | | инфракрасные системы или лазерные | | | | системы), имеющие точность менее | | | | о | | | | (лучше) 0,00025 | | | | Особое примечание. | | | | Для лазерных систем применяется | | | | также примечание к пункту | | | | 2.2.5.2.1; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.2.7.3. | Составные поворотные столы или | 8466 | | | качающиеся шпиндели, применение | | | | которых в соответствии с | | | | техническими характеристиками | | | | изготовителя может модифицировать | | | | станки до уровня, указанного в | | | | пункте 2.2, или выше | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.2.8. | Обкатные вальцовочные и гибочные | 8462 21 100 0; | | | станки, которые в соответствии с | 8462 21 800 0; | | | технической документацией | 8463 90 000 0 | | | производителя могут быть | | | | оборудованы блоками числового | | | | программного управления или | | | | компьютерным управлением и которые | | | | имеют все следующие | | | | характеристики: | | | | а) две или более контролируемые | | | | оси, по крайней мере две из | | | | которых могут быть одновременно | | | | скоординированы для контурного | | | | управления; и | | | | б) усилие на ролике более 60 кН | | | | Техническое примечание. | | | | Станки, объединяющие функции | | | | обкатных вальцовочных и гибочных | | | | станков, рассматриваются для целей | | | | пункта 2.2.8 как относящиеся к | | | | гибочным станкам | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.3. | Материалы - нет | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.4. | Программное обеспечение | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.4.1. | Программное обеспечение иное, чем | | | | контролируемое по пункту 2.4.2, | | | | специально разработанное или | | | | модифицированное для разработки, | | | | производства или применения | | | | оборудования, контролируемого по | | | | пункту 2.1 или 2.2; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.4.2. | Программное обеспечение для | | | | электронных устройств, в том числе | | | | встроенное в электронное | | | | устройство или систему, дающее | | | | возможность таким устройствам или | | | | системам функционировать как блок | | | | ЧПУ, способный координировать | | | | одновременно более четырех осей | | | | для контурного управления | | | | Примечание. | | | | По пункту 2.4.2 не контролируется | | | | программное обеспечение, | | | | специально разработанное или | | | | модифицированное для работы | | | | станков, не контролируемых по | | | | пунктам категории 2 | | | | Особое примечание. | | | | В отношении программного | | | | обеспечения, указанного в | | | | пункте 2.4.1, см. также | | | | пункт 2.4.1 раздела 2 | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5. | Технология | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.1. | Технологии в соответствии с общим | | | | технологическим примечанием для | | | | разработки оборудования или | | | | программного обеспечения, | | | | контролируемых по пункту 2.1, 2.2 | | | | или 2.4 | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.2. | Технологии в соответствии с общим | | | | технологическим примечанием для | | | | производства оборудования, | | | | контролируемого по пункту 2.1 | | | | или 2.2 | | | | Особое примечание. | | | | В отношении технологий, указанных | | | | в пунктах 2.5.1 и 2.5.2, см. также | | | | пункт 2.5.1 раздела 2 | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3. | Иные нижеследующие технологии: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.1. | Технологии для разработки | | | | интерактивной графики как | | | | встроенной части блока числового | | | | программного управления для | | | | подготовки или модификации | | | | программ обработки деталей; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.2. | Технологии для производственных | | | | процессов металлообработки: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.2.1. | Технологии для проектирования | | | | инструмента, пресс-форм или | | | | зажимных приспособлений, | | | | специально разработанные для | | | | любого из следующих процессов: | | | | а) формообразования в условиях | | | | сверхпластичности; | | | | б) диффузионной сварки; или | | | | в) гидравлического прессования | | | | прямого действия; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.2.2. | Технические данные, включающие | | | | описание технологического процесса | | | | или его параметры: | | | | а) для формообразования в условиях | | | | сверхпластичности изделий из | | | | алюминиевых, титановых сплавов | | | | или суперсплавов: | | | | подготовка поверхности; | | | | скорость деформации; | | | | температура; | | | | давление; | | | | б) для диффузионной сварки | | | | титановых сплавов или | | | | суперсплавов: | | | | подготовка поверхности; | | | | температура; | | | | давление; | | | | в) для гидравлического прессования | | | | прямого действия алюминиевых или | | | | титановых сплавов: | | | | давление; | | | | время цикла; | | | | г) для горячего изостатического | | | | уплотнения титановых, алюминиевых | | | | сплавов или суперсплавов: | | | | температура; | | | | давление; | | | | время цикла; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.3. | Технологии для разработки или | | | | производства гидравлических | | | | прессов для штамповки с вытяжкой и | | | | соответствующих матриц для | | | | изготовления конструкций корпусов | | | | летательных аппаратов; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.4. | Технологии для разработки | | | | генераторов машинных команд для | | | | управления станком (например, | | | | программ обработки деталей) на | | | | основе проектных данных, хранимых | | | | в блоках числового программного | | | | управления; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.5. | Технологии для разработки | | | | комплексного программного | | | | обеспечения для включения | | | | экспертных систем, повышающих в | | | | заводских условиях операционные | | | | возможности блоков числового | | | | программного управления; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 2.5.3.6. | Технологии для осаждения, | | | | обработки и активного управления | | | | процессом нанесения внешних слоев | | | | неорганических покрытий, иных | | | | покрытий и модификации поверхности | | | | (за исключением формирования | | | | подложек для электронных схем) с | | | | использованием процессов, | | | | указанных в таблице к настоящему | | | | пункту и примечаниях к ней | | | | Особое примечание. | | | | Нижеследующая таблица определяет, | | | | что технология конкретного | | | | процесса нанесения покрытия | | | | подлежит экспортному контролю | | | | только при указанных в ней | | | | сочетаниях позиций в колонках | | | | "Получаемое покрытие" и | | | | "Подложки". Например, подлежат | | | | контролю технические | | | | характеристики процесса нанесения | | | | силицидного покрытия методом | | | | химического осаждения из паровой | | | | фазы (CVD) на подложки из углерод- | | | | углерода и композиционных | | | | материалов с керамической или | | | | металлической матрицей. Однако, | | | | если подложка выполнена из | | | | металлокерамического карбида | | | | вольфрама (16) или карбида кремния | | | | (18), контроль не требуется, так | | | | как во втором случае получаемое | | | | покрытие не указано в | | | | соответствующей колонке для этих | | | | подложек (металлокерамический | | | | карбид вольфрама и карбид кремния) | | ----------------------------------------------------------------------------- Таблица к пункту 2.5.3.6 Технические приемы нанесения покрытий --------------------------------------------------------------------------- | Процесс | Подложки | Получаемое | | нанесения | | покрытие | | покрытия (1)* | | | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 1. Химическое | суперсплавы | алюминиды на | | осаждение из | | поверхности внутренних | | паровой фазы | | каналов | | (CVD) |------------------------|----------------------------| | | керамика (19) и стекла | силициды, | | | с малым коэффициентом | карбиды, | | | линейного расширения | диэлектрические слои | | | (14) | (15), | | | | алмаз, | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | | |------------------------|----------------------------| | | углерод-углерод, | силициды, | | | композиционные | карбиды, | | | материалы с | тугоплавкие металлы, | | | керамической или | смеси перечисленных | | | металлической матрицей | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | алюминиды, | | | | сплавы на основе | | | | алюминидов (2), | | | | нитрид бора | | |------------------------|----------------------------| | | металлокерамический | карбиды, | | | карбид вольфрама (16), | вольфрам, | | | карбид кремния (18) | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | молибден и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | алмаз, | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | | |------------------------|----------------------------| | | материалы окон | диэлектрические слои | | | датчиков (9) | (15), | | | | алмаз, | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 2. Физическое | | | | осаждение из | | | | паровой фазы, | | | | получаемой | | | | нагревом | | | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 2.1. Физическое | суперсплавы | сплавы на основе | | осаждение из | | силицидов, | | паровой фазы, | | сплавы на основе | | полученной | | алюминидов (2), MCrAlX | | нагревом | | (5), модифицированный | | электронным | | диоксид циркония (12), | | пучком | | силициды, | | | | алюминиды, | | | | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4) | | |------------------------|----------------------------| | | керамика (19) и стекла | диэлектрические слои | | | с малым коэффициентом | (15) | | | линейного расширения | | | | (14) | | | |------------------------|----------------------------| | | коррозионно-стойкие | MCrAlX (5), | | | стали (7) | модифицированный | | | | диоксид циркония (12), | | | | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4) | | |------------------------|----------------------------| | | углерод-углерод, | силициды, | | | композиционные | карбиды, | | | материалы с | тугоплавкие металлы, | | | керамической или | смеси перечисленных | | | металлической матрицей | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | нитрид бора | | |------------------------|----------------------------| | | металлокерамический | карбиды, | | | карбид вольфрама (16), | вольфрам, | | | карбид кремния (18) | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | молибден и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | бориды, | | | | бериллий | | |------------------------|----------------------------| | | материалы окон | диэлектрические слои | | | датчиков (9) | (15) | | | титановые сплавы (13) | бориды, | | | | нитриды | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 2.2. Ионно- | керамика (19) и стекла | диэлектрические слои | | ассистированное | с малым коэффициентом | (15), | | физическое | линейного расширения | алмазоподобный углерод | | осаждение из | (14) | | | паровой фазы, |------------------------|----------------------------| | полученной | углерод-углерод, | диэлектрические слои | | резистивным | композиционные | (15) | | нагревом | материалы с | | | (ионное | керамической или | | | осаждение) | металлической матрицей | | | |------------------------|----------------------------| | | металлокерамический | диэлектрические слои | | | карбид вольфрама (16), | (15) | | | карбид кремния (18) | | | |------------------------|----------------------------| | | молибден и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | материалы окон | диэлектрические слои | | | датчиков (9) | (15), | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 2.3. Физическое | керамика (19) и стекла | силициды, | | осаждение из | с малым коэффициентом | диэлектрические слои | | паровой фазы, | линейного расширения | (15), | | полученной | (14) | алмазоподобный углерод | | лазерным | | (17) | | нагревом |------------------------|----------------------------| | | углерод-углерод, | диэлектрические слои | | | композиционные | (15) | | | материалы с | | | | керамической или | | | | металлической матрицей | | | |------------------------|----------------------------| | | металлокерамический | диэлектрические слои | | | карбид вольфрама (16), | (15) | | | карбид кремния (18) | | | |------------------------|----------------------------| | | молибден и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | бериллий и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | материалы окон | диэлектрические слои | | | датчиков (9) | (15), | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 2.4. Физическое | суперсплавы | сплавы на основе | | осаждение из | | силицидов, | | паровой фазы, | | сплавы на основе | | полученной | | алюминидов (2), MCrAlX | | катодно- | | (5) | | дуговым |------------------------|----------------------------| | разрядом | полимеры (11) и | бориды, | | | композиционные | карбиды, | | | материалы с | нитриды, | | | органической матрицей | алмазоподобный углерод | | | | (17) | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 3. Твердофазное | углерод-углерод, | силициды, | | диффузионное | композиционные | карбиды, | | насыщение (10) | материалы с | смеси перечисленных | | | керамической или | выше материалов (4) | | | металлической матрицей | | | |------------------------|----------------------------| | | титановые сплавы (13) | силициды, | | | | алюминиды, | | | | сплавы на основе | | | | алюминидов (2) | | |------------------------|----------------------------| | | тугоплавкие металлы и | силициды, | | | сплавы (8) | оксиды | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 4. Плазменное | суперсплавы | MCrAlX (5), | | напыление | | модифицированный | | | | диоксид циркония (12), | | | | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4), | | | | истираемый никель- | | | | графитовый материал, | | | | истираемый никель-хром- | | | | алюминиевый сплав, | | | | истираемый алюминиево- | | | | кремниевый сплав, | | | | содержащий полиэфир, | | | | сплавы на основе | | | | алюминидов (2) | | |------------------------|----------------------------| | | алюминиевые сплавы (6) | MCrAlX (5), | | | | модифицированный | | | | диоксид циркония (12), | | | | силициды, | | | | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4) | | |------------------------|----------------------------| | | тугоплавкие металлы и | алюминиды, | | | сплавы (8) | силициды, | | | | карбиды | | |------------------------|----------------------------| | | коррозионно-стойкие | MCrAlX (5), | | | стали (7) | модифицированный | | | | диоксид циркония (12), | | | | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4) | | |------------------------|----------------------------| | | титановые сплавы (13) | карбиды, | | | | алюминиды, | | | | силициды, | | | | сплавы на основе | | | | алюминидов (2), | | | | истираемый никель- | | | | графитовый материал, | | | | истираемый никель-хром- | | | | алюминиевый сплав, | | | | истираемый алюминиево- | | | | кремниевый сплав, | | | | содержащий полиэфир | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 5. Нанесение | тугоплавкие металлы и | оплавленные силициды, | | шликера | сплавы (8) | оплавленные алюминиды | | | | (кроме резистивных | | | | нагревательных | | | | элементов) | | |------------------------|----------------------------| | | углерод-углерод, | силициды, | | | композиционные | карбиды, | | | материалы с | смеси перечисленных | | | керамической или | выше материалов (4) | | | металлической матрицей | | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 6. Осаждение | суперсплавы | сплавы на основе | | распылением | | силицидов, | | | | сплавы на основе | | | | алюминидов (2), | | | | алюминиды, | | | | модифицированные | | | | благородным металлом | | | | (3), | | | | MCrAlX (5), | | | | модифицированный | | | | диоксид циркония (12), | | | | платина, | | | | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4) | | |------------------------|----------------------------| | | керамика (19) и стекла | силициды, | | | с малым коэффициентом | платина, | | | линейного расширения | смеси перечисленных | | | (14) | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | | |------------------------|----------------------------| | | титановые сплавы (13) | бориды, | | | | нитриды, | | | | оксиды, | | | | силициды, | | | | алюминиды, | | | | сплавы на основе | | | | алюминидов (2), | | | | карбиды | | |------------------------|----------------------------| | | углерод-углерод, | силициды, | | | композиционные | карбиды, | | | материалы с | тугоплавкие металлы, | | | керамической или | смеси перечисленных | | | металлической матрицей | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | нитрид бора | | |------------------------|----------------------------| | | металлокерамический | карбиды, | | | карбид вольфрама (16), | вольфрам, | | | карбид кремния (18) | смеси перечисленных | | | | выше материалов (4), | | | | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | нитрид бора | | |------------------------|----------------------------| | | молибден и его сплавы | диэлектрические слои | | | | (15) | | |------------------------|----------------------------| | | бериллий и его сплавы | бориды, | | | | диэлектрические слои | | | | (15), | | | | бериллий | | |------------------------|----------------------------| | | материалы окон | диэлектрические слои | | | датчиков (9) | (15), | | | | алмазоподобный углерод | | | | (17) | | |------------------------|----------------------------| | | тугоплавкие металлы и | алюминиды, | | | сплавы (8) | силициды, | | | | оксиды, | | | | карбиды | |-------------------|------------------------|----------------------------| | 7. Ионная | высокотемпературные | присадки хрома, | | имплантация | подшипниковые стали | тантала или ниобия | | | титановые сплавы (13) | бориды, | | | | нитриды | | |------------------------|----------------------------| | | бериллий и его сплавы | бориды | | | металлокерамический | карбиды, | | | карбид вольфрама (16) | нитриды | --------------------------------------------------------------------------- ------------------------ (*) См. пункт примечаний к данной таблице, соответствующий указанному в скобках. Примечания к таблице: 1. Термин "процесс нанесения покрытия" включает как нанесение первоначального покрытия, так и ремонт, а также обновление существующих покрытий 2. Покрытие сплавами на основе алюминида включает одно- или многоступенчатое нанесение покрытия, в котором элемент или элементы осаждаются до или в процессе нанесения алюминидного покрытия, даже если эти элементы наносятся с применением других процессов. Это, однако, не включает многократное использование одношагового процесса твердофазного диффузионного насыщения для получения легированных алюминидов 3. Покрытие алюминидом, модифицированным благородным металлом, включает многошаговое нанесение покрытия, в котором слои благородного металла или благородных металлов наносятся каким-либо другим процессом до нанесения алюминидного покрытия 4. Термин "смеси" означает материалы, полученные пропиткой, материалы с изменяющимся по объему химическим составом, материалы, полученные совместным осаждением, в том числе слоистые; при этом смеси получаются в одном или нескольких процессах нанесения покрытий, описанных в таблице 5. MCrAlX соответствует сплаву покрытия, где М обозначает кобальт, железо, никель или их комбинацию, Х - гафний, иттрий, кремний, тантал в любом количестве или другие специально внесенные добавки с их содержанием более 0,01 % (по весу) в различных пропорциях и комбинациях, кроме: а) CoCrAlY-покрытий, содержащих менее 22 % (по весу) хрома, менее 7 % (по весу) алюминия и менее 2 % (по весу) иттрия; б) CoCrAlY-покрытий, содержащих 22-24 % (по весу) хрома, 10-12 % (по весу) алюминия и 0,5-0,7 % (по весу) иттрия; в) NiCrAlY-покрытий, содержащих 21-23 % (по весу) хрома, 10-12 % (по весу) алюминия и 0,9-1,1 % (по весу) иттрия 6. Термин "алюминиевые сплавы" относится к сплавам с прочностью при растяжении 190 МПа или выше при температуре 293 К (20 град. С) 7. Термин "коррозионно-стойкая сталь" означает сталь из серии AISI-300 (AISI - American Iron and Steel Institute - Американский институт железа и стали) или сталь соответствующего национального стандарта 8. Тугоплавкие металлы и сплавы включают следующие металлы и их сплавы: ниобий, молибден, вольфрам и тантал 9. Материалами окон датчиков являются: оксид алюминия (поликристаллический), кремний, германий, сульфид цинка, селенид цинка, арсенид галлия, алмаз, фосфид галлия, сапфир, а для окон датчиков диаметром более 40 мм - фтористый цирконий и фтористый гафний 10. Технология одношагового процесса твердофазного диффузионного насыщения сплошных аэродинамических поверхностей не контролируется по категории 2 11. Полимеры включают полиимиды, полиэфиры, полисульфиды, поликарбонаты и полиуретаны 12. Термин "модифицированный оксид циркония" означает оксид циркония с добавками оксидов других металлов (таких, как оксиды кальция, магния, иттрия, гафния, редкоземельных металлов) в целях стабилизации определенных кристаллографических фаз и фазовых составов. Покрытия - температурные барьеры из оксида циркония, модифицированные оксидом кальция или магния методом смешения или сплавления, не контролируются 13. Титановые сплавы - только сплавы для аэрокосмического применения с прочностью на растяжение 900 МПа или выше при температуре 293 К (20 град. С) 14. Стекла с малым коэффициентом линейного расширения включают стекла, имеющие измеренный при температуре 293 К (20 град. С) -7 -1 коэффициент линейного расширения 10 K или менее 15. Диэлектрический слой - покрытие, состоящее из нескольких диэлектрических материалов-слоев, в котором интерференционные свойства структуры, составленной из материалов с различными показателями отражения, используются для отражения, пропускания или поглощения в различных диапазонах длин волн. Диэлектрический слой - понятие, относящееся к структурам, состоящим из более чем четырех слоев диэлектрика или композиционных слоев диэлектрик-металл 16. Металлокерамический карбид вольфрама не включает следующие твердые сплавы, применяемые для режущего инструмента и инструмента для обработки металлов давлением: карбид вольфрама - (кобальт, никель), карбид титана - (кобальт, никель), карбид хрома - (никель, хром) и карбид хрома - никель 17. Не контролируются технологии, специально разработанные для нанесения алмазоподобного углерода на любое из следующего: дисководы (накопители на магнитных дисках) и головки, оборудование для производства расходных материалов, клапаны для вентилей, диффузоры громкоговорителей, детали автомобильных двигателей, режущие инструменты, вырубные штампы и прессформы для штамповки, оргтехника, микрофоны и медицинские приборы 18. Карбид кремния не включает материалы, применяемые для режущего инструмента и инструмента для обработки металлов давлением 19. "Керамические подложки" в том смысле, в котором этот термин применяется в настоящем пункте, не включают в себя керамические материалы, содержащие 5 % (по весу) или более связующих как отдельных компонентов, а также в сочетании с другими компонентами Технические примечания к таблице: Процессы, указанные в колонке "Процесс нанесения покрытия", определяются следующим образом: 1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это процесс нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика осаждается на нагретую подложку. Газообразные реагенты разлагаются или соединяются вблизи подложки или на самой подложке, в результате чего на ней осаждается требуемый материал в форме химического элемента, сплава или соединения. Энергия для указанных химических реакций может быть обеспечена теплом подложки, плазмой тлеющего разряда или лучом лазера Особые примечания: а) CVD включает следующие процессы: осаждение в направленном газовом потоке без непосредственного контакта засыпки с подложкой, CVD с пульсирующим режимом, термическое осаждение с управляемым образованием центров кристаллизации (CNTD), CVD с применением плазменного разряда, ускоряющего процесс; б) засыпка означает погружение подложки в порошковую смесь; в) газообразные реагенты, используемые в процессе без непосредственного контакта засыпки с подложкой, производятся с применением тех же основных реакций и параметров, что и при твердофазном диффузионном насыщении 2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом, - это процесс нанесения внешнего покрытия в вакууме при давлении ниже 0,1 Па с использованием какого-либо источника тепловой энергии для испарения материала покрытия. Процесс приводит к конденсации или осаждению пара на соответствующим образом установленную подложку. Обычной модификацией процесса является напуск газа в вакуумную камеру в целях синтеза химического соединения в покрытии. Использование ионного или электронного пучка либо плазмы для активизации нанесения покрытия или участия в этом процессе является также обычной модификацией этого метода. Применение контрольно-измерительных устройств для измерения в технологическом процессе оптических характеристик и толщины покрытия может быть особенностью этих процессов. Особенности конкретных процессов физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, состоят в следующем: а) физическое осаждение из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком, использует пучок электронов для нагревания и испарения материала, образующего покрытие; б) ионно-ассистированное физическое осаждение из паровой фазы, полученной резистивным нагревом, использует резистивные нагреватели в сочетании с падающим ионным пучком (пучками) в целях получения контролируемого и однородного потока пара материала покрытия; в) при испарении лазером используется импульсный или непрерывный лазерный луч; г) в процессе катодного дугового напыления используется расходный катод, из материала которого образуется покрытие и имеется дуговой разряд, который инициируется на поверхности катода после кратковременного контакта с пусковым устройством. Контролируемое движение дуги приводит к эрозии поверхности катода и образованию высокоионизованной плазмы. Анод может быть коническим и располагаться по периферии катода через изолятор, или сама камера может играть роль анода. Для реализации процесса нанесения покрытия вне прямой видимости подается электрическое смещение на подложку Особое примечание. Описанный в подпункте "г" процесс не относится к нанесению покрытий неуправляемой катодной дугой и без подачи электрического смещения на подложку д) ионное осаждение - специальная модификация процесса физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, в котором плазменный или ионный источник используется для ионизации материала наносимых покрытий, а отрицательное смещение, приложенное к подложке, способствует экстракции необходимых ионов из плазмы. Введение активных реагентов, испарение твердых материалов в камере, а также использование контрольно-измерительных устройств, обеспечивающих измерение (в процессе нанесения покрытий) оптических характеристик и толщины покрытий, - обычные модификации этого процесса 3. Твердофазное диффузионное насыщение - процесс, модифицирующий поверхностный слой, или процесс нанесения внешнего покрытия, при которых изделие погружено в порошковую смесь (засыпку), состоящую из: а) порошков металлов, подлежащих нанесению на поверхность изделия (обычно алюминий, хром, кремний или их комбинации); б) активатора (в большинстве случаев галоидная соль); и в) инертного порошка, чаще всего оксида алюминия. Изделие и порошковая смесь находятся в муфеле с температурой от 1030 К (757 град. С) до 1375 К (1102 град. С) в течение достаточно продолжительного времени для нанесения покрытия 4. Плазменное напыление - процесс нанесения внешнего покрытия, при котором в горелку, образующую и управляющую плазмой, подается порошок или проволока материала покрытия, который при этом плавится и несется на подложку, где формируется покрытие. Плазменное напыление может проводиться либо в режиме низкого давления, либо в режиме высокой скорости Особые примечания: а) низкое давление означает давление ниже атмосферного; б) высокая скорость означает, что скорость потока на срезе сопла горелки, приведенная к температуре 293 К (20 град. С) и давлению 0,1 Мпа, превышает 750 м/с. 5. Нанесение шликера - процесс, модифицирующий поверхностный слой, или процесс нанесения внешнего покрытия, в которых металлический или керамический порошок с органической связкой, суспендированный в жидкости, наносится на подложку посредством напыления, погружения или окраски с последующими сушкой при комнатной или повышенной температуре и термообработкой для получения необходимого покрытия 6. Осаждение распылением - процесс нанесения внешнего покрытия, основанный на передаче импульса, когда положительные ионы ускоряются в электрическом поле в направлении к поверхности мишени (материала покрытия). Кинетическая энергия падающих на мишень ионов достаточна для выбивания атомов с поверхности мишени, которые затем осаждаются на соответствующим образом установленную подложку Особые примечания: а) таблица относится только к триодному, магнетронному или реакционному осаждению распылением, которое используется для увеличения адгезии материала покрытия и скорости осаждения, а также к радиочастотному расширению процесса, что позволяет испарять неметаллические материалы; б) для активации процесса осаждения могут быть использованы низкоэнергетические ионные пучки (менее 5 КэВ) 7. Ионная имплантация - процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная имплантация производится одновременно с физическим осаждением из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком, или с осаждением распылением Некоторые пояснения к таблице. Следует понимать, что следующая техническая информация, сопровождающая таблицу, должна использоваться при необходимости: 1. Нижеследующие технологии предварительной обработки подложек, указанных в таблице: 1.1. Параметры процесса снятия покрытия химическими методами в соответствующей ванне: 1.1.1. Состав раствора: 1.1.1.1. Для удаления старых или поврежденных покрытий, продуктов коррозии или инородных отложений; 1.1.1.2. Для приготовления новых подложек; 1.1.2. Время обработки; 1.1.3. Температура ванны; 1.1.4. Число и последовательность промывочных циклов; 1.2. Визуальные и макроскопические критерии для определения приемлемости чистоты подложки; 1.3. Параметры цикла термообработки: 1.3.1. Атмосферные параметры: 1.3.1.1. Состав атмосферы; 1.3.1.2. Давление; 1.3.2. Температура термообработки; 1.3.3. Время термообработки; 1.4. Параметры процесса подготовки поверхности подложки: 1.4.1. Параметры пескоструйной обработки: 1.4.1.1. Состав крошки, дроби; 1.4.1.2. Размеры и форма крошки, дроби; 1.4.1.3. Скорость крошки; 1.4.2. Время и последовательность циклов очистки после пескоструйной очистки; 1.4.3. Параметры финишной обработки поверхности; 1.4.4. Применение связующих, способствующих адгезии; 1.5. Параметры маски: 1.5.1. Материал маски; 1.5.2. Расположение маски 2. Нижеследующие технологии контроля качества технологических параметров, используемые для оценки покрытия и процессов, указанных в таблице: 2.1. Параметры атмосферы: 2.1.1. Состав; 2.1.2. Давление; 2.2. Время; 2.3. Температура; 2.4. Толщина; 2.5. Коэффициент преломления; 2.6. Контроль состава покрытия 3. Нижеследующие технологии обработки указанных в таблице подложек с нанесенными покрытиями: 3.1. Параметры упрочняющей дробеструйной обработки: 3.1.1. Состав дроби; 3.1.2. Размер дроби; 3.1.3. Скорость дроби; 3.2. Параметры очистки после дробеструйной обработки; 3.3. Параметры цикла термообработки: 3.3.1. Параметры атмосферы: 3.3.1.1. Состав; 3.3.1.2. Давление; 3.3.2. Температура и время цикла; 3.4. Визуальные и макроскопические критерии возможной приемки подложки с нанесенным покрытием после термообработки 4. Нижеследующие технологии контроля качества подложек с нанесенными покрытиями, указанных в таблице: 4.1. Критерии для статистической выборки; 4.2. Микроскопические критерии для: 4.2.1. Увеличения; 4.2.2. Равномерности толщины покрытия; 4.2.3. Целостности покрытия; 4.2.4. Состава покрытия; 4.2.5. Сцепления покрытия и подложки; 4.2.6. Микроструктурной однородности; 4.3. Критерии оценки оптических свойств (измеренных в зависимости от длины волны): 4.3.1. Коэффициент отражения; 4.3.2. Коэффициент пропускания; 4.3.3. Поглощение; 4.3.4. Рассеяние 5. Нижеследующие технологии и технологические параметры, относящиеся к отдельным процессам покрытия и модификации поверхности, указанным в таблице: 5.1. Для химического осаждения из паровой фазы (CVD): 5.1.1. Состав и химическая формула источника покрытия; 5.1.2. Состав газа-носителя; 5.1.3. Температура подложки; 5.1.4. Температура - время - давление циклов; 5.1.5. Управление потоком газа и подложкой; 5.2. Для физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом: 5.2.1. Состав заготовки или источника материала покрытия; 5.2.2. Температура подложки; 5.2.3. Состав газа-реагента; 5.2.4. Скорость подачи заготовки или скорость испарения материала; 5.2.5. Температура - время - давление циклов; 5.2.6. Управление пучком и подложкой; 5.2.7. Параметры лазера: 5.2.7.1. Длина волны; 5.2.7.2. Плотность мощности; 5.2.7.3. Длительность импульса; 5.2.7.4. Периодичность импульсов; 5.2.7.5. Источник; 5.3. Для твердофазного диффузионного насыщения: 5.3.1. Состав засыпки и химическая формула; 5.3.2. Состав газа-носителя; 5.3.3. Температура - время - давление циклов; 5.4. Для плазменного напыления: 5.4.1. Состав порошка, подготовка и распределение по размеру (гранулометрический состав); 5.4.2. Состав и параметры подаваемого газа; 5.4.3. Температура подложки; 5.4.4. Параметры мощности плазменной горелки; 5.4.5. Дистанция напыления; 5.4.6. Угол напыления; 5.4.7. Состав подаваемого в камеру газа, давление и скорость потока; 5.4.8. Управление плазменной горелкой и подложкой; 5.5. Для осаждения распылением: 5.5.1. Состав мишени и ее изготовление; 5.5.2. Регулировка положения детали и мишени; 5.5.3. Состав газа-реагента; 5.5.4. Напряжение смещения; 5.5.5. Температура - время - давление циклов; 5.5.6. Мощность триода; 5.5.7. Управление деталью (подложкой); 5.6. Для ионной имплантации: 5.6.1. Управление пучком и подложкой; 5.6.2. Элементы конструкции источника ионов; 5.6.3. Методика управления пучком ионов и параметрами скорости осаждения; 5.6.4. Температура - время - давление циклов; 5.7. Для ионного осаждения: 5.7.1. Управление пучком и подложкой; 5.7.2. Элементы конструкции источника ионов; 5.7.3. Методика управления пучком ионов и параметрами скорости осаждения; 5.7.4. Температура - время - давление циклов; 5.7.5. Скорость подачи источника покрытия и скорость испарения материала; 5.7.6. Температура подложки; 5.7.7. Параметры подаваемого на подложку смещения ----------------------------------------------------------------------------- | N пункта | Наименование | Код ТН ВЭД** | |------------------|------------------------------------|-------------------| | | КАТЕГОРИЯ 3. ЭЛЕКТРОНИКА | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1. | Системы, оборудование и | | | | компоненты | | | | Примечания: | | | | 1. Контрольный статус | | | | оборудования и компонентов, | | | | указанных в пункте 3.1, других, | | | | нежели указанные в пунктах | | | | 3.1.1.1.3 - 3.1.1.1.9 или | | | | пункте 3.1.1.1.11, и которые | | | | специально разработаны или имеют | | | | те же самые функциональные | | | | характеристики, как и другое | | | | оборудование, определяется по | | | | контрольному статусу такого | | | | оборудования | | | | 2. Контрольный статус | | | | интегральных схем, указанных в | | | | пунктах 3.1.1.1.3 - 3.1.1.1.8 | | | | или пункте 3.1.1.1.11, которые | | | | являются неизменно | | | | запрограммированными или | | | | разработанными для выполнения | | | | функций другого оборудования, | | | | определяется по контрольному | | | | статусу такого оборудования | | | | Особое примечание. | | | | В тех случаях, когда изготовитель | | | | или заявитель не может определить | | | | контрольный статус другого | | | | оборудования, этот статус | | | | определяется контрольным статусом | | | | интегральных схем, указанных в | | | | пунктах 3.1.1.1.3 - 3.1.1.1.8 или | | | | пункте 3.1.1.1.11. Если | | | | интегральная схема является | | | | кремниевой микросхемой микроЭВМ | | | | или микросхемой микроконтроллера, | | | | указанными в пункте 3.1.1.1.3 и | | | | имеющими длину слова операнда | | | | (данных) 8 бит или менее, то ее | | | | статус контроля должен | | | | определяться в соответствии с | | | | пунктом 3.1.1.1.3 | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1. | Электронные компоненты: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1. | Нижеперечисленные интегральные | | | | микросхемы общего назначения: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.1. | Интегральные схемы, | 8542 | | | спроектированные или относящиеся | | | | к классу радиационно стойких, | | | | выдерживающие любое из следующих | | | | воздействий: | | | | 3 | | | | а) суммарную дозу 5 х 10 Гр (Si) | | | | 5 | | | | [5 х 10 рад] или выше; | | | | б) мощность дозы | | | | 6 8 | | | | 5 х 10 Гр (Si)/с [5 х 10 рад/с] | | | | или выше; или | | | | в) флюенс (интегральный поток) | | | | нейтронов (соответствующий | | | | 13 | | | | энергии в 1 МэВ) 5 х 10 н/кв. см | | | | или более по кремнию или его | | | | эквивалент для других материалов | | | | Примечание. | | | | Подпункт "в" пункта 3.1.1.1.1 не | | | | применяется к структуре металл - | | | | диэлектрик - полупроводник | | | | (МДП-структуре); | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.2. | Микросхемы микропроцессоров, | 8542 | | | микросхемы микроЭВМ, | | | | микросхемы микроконтроллеров, | | | | изготовленные из | | | | полупроводниковых соединений | | | | интегральные схемы памяти, | | | | аналого-цифровые преобразователи, | | | | цифроаналоговые преобразователи, | | | | электронно-оптические или | | | | оптические интегральные схемы для | | | | обработки сигналов, | | | | программируемые пользователем | | | | логические устройства, | | | | интегральные схемы для нейронных | | | | сетей, заказные интегральные | | | | схемы, функции которых неизвестны | | | | или не известно, распространяется | | | | ли статус контроля на | | | | аппаратуру, в которой будут | | | | использоваться эти интегральные | | | | схемы, процессоры | | | | быстрого преобразования Фурье, | | | | электрически перепрограммируемые | | | | постоянные запоминающие | | | | устройства (ЭППЗУ), память с | | | | групповой перезаписью или | | | | статические запоминающие | | | | устройства с произвольной | | | | выборкой (СЗУПВ), имеющие любую | | | | из следующих характеристик: | | | | а) работоспособные при | | | | температуре окружающей среды выше | | | | о | | | | 398 К (+125 С); | | | | б) работоспособные при | | | | температуре окружающей среды ниже | | | | о | | | | 218 К (-55 С); или | | | | в) работоспособные во всем | | | | диапазоне температур окружающей | | | | о | | | | среды от 218 К (-55 С) до 398 К | | | | о | | | | (+125 С) | | | | Примечание. | | | | Пункт 3.1.1.1.2 не | | | | распространяется на интегральные | | | | схемы, применяемые для | | | | гражданских автомобилей и | | | | железнодорожных поездов; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.3. | Микросхемы микропроцессоров, | | | | микросхемы микроЭВМ, | | | | микросхемы микроконтроллеров, | | | | имеющие любую из следующих | | | | характеристик: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.3.1. | Изготовлены на полупроводниковых | 8542 21 45; | | | соединениях и работающие на | 8542 21 500 0; | | | тактовой частоте, превышающей | 8542 21 83; | | | 40 МГц; или | 8542 21 850 0; | | | | 8542 60 000 | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.3.2. | Более одной шины данных или | 8542 21 45; | | | команд либо последовательный порт | 8542 21 500 0; | | | связи, что обеспечивает прямое | 8542 21 83; | | | внешнее соединение между | 8542 21 850 0; | | | параллельными микросхемами | 8542 60 000 | | | микропроцессоров со скоростью | | | | передачи, превышающей | | | | 150 Мбайт/с | | | | Примечание. | | | | Пункт 3.1.1.1.3 включает | | | | процессоры цифровых сигналов, | | | | цифровые матричные процессоры и | | | | цифровые сопроцессоры; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.4. | Интегральные схемы памяти, | 8542 21 45; | | | изготовленные на | 8542 21 500 0; | | | полупроводниковых соединениях; | 8542 21 83; | | | | 8542 21 850 0; | | | | 8542 60 000 | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.5. | Следующие интегральные схемы для | 8542 29 600 0; | | | аналого-цифровых и | 8542 29 900 9; | | | цифроаналоговых преобразователей: | 8542 60 000 9 | | | а) аналого-цифровые | | | | преобразователи, имеющие любую из | | | | следующих характеристик: | | | | разрешающую способность 8 бит или | | | | более, но менее 12 бит с общим | | | | временем преобразования менее | | | | 5 нс; | | | | разрешающую способность 12 бит с | | | | общим временем преобразования | | | | менее 20 нс; | | | | разрешающую способность более | | | | 12 бит, но равную или меньше | | | | 14 бит с общим временем | | | | преобразования менее 200 нс; или | | | | разрешающую способность более | | | | 14 бит с общим временем | | | | преобразования менее 1 мкс; | | | | б) цифроаналоговые | | | | преобразователи с разрешающей | | | | способностью 12 бит или более и | | | | временем установления сигнала | | | | менее 10 нс | | | | Технические примечания: | | | | 1. Разрешающая способность n | | | | n | | | | битов соответствует 2 уровням | | | | квантования | | | | 2. Общее время преобразования | | | | является величиной, обратной | | | | частоте выборки; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.6. | Электронно-оптические и | 8542 | | | оптические интегральные схемы для | | | | обработки сигналов, имеющие | | | | одновременно все перечисленные | | | | составляющие: | | | | а) один внутренний лазерный диод | | | | или более; | | | | б) один внутренний | | | | светочувствительный элемент или | | | | более; и | | | | в) световоды; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.7. | Программируемые пользователем | 8542 21 690 0; | | | логические устройства, имеющие | 8542 21 990 0 | | | любую из следующих характеристик: | | | | а) эквивалентное количество | | | | задействованных логических | | | | элементов более 30 000 (в | | | | пересчете на элементы с двумя | | | | входами); | | | | б) типовое время задержки | | | | основного логического элемента | | | | менее 0,1 нс; или | | | | в) частоту переключения выше | | | | 133 МГц | | | | Примечание. | | | | Пункт 3.1.1.1.7 включает: | | | | простые программируемые | | | | логические устройства (ППЛУ); | | | | сложные программируемые | | | | логические устройства (СПЛУ); | | | | программируемые пользователем | | | | вентильные матрицы (ППВМ); | | | | программируемые пользователем | | | | логические матрицы (ППЛМ); | | | | программируемые пользователем | | | | межсоединения (ППМС) | | | | Особое примечание. | | | | Программируемые пользователем | | | | логические устройства также | | | | известны как программируемые | | | | пользователем вентильные или | | | | программируемые пользователем | | | | логические матрицы; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.8. | Интегральные схемы для нейронных | 8542 | | | сетей; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.9. | Заказные интегральные схемы, | 8542 21 690 0; | | | функции которых неизвестны или | 8542 21 990 0; | | | изготовителю не известно, | 8542 29; | | | распространяется ли статус | 8542 60 000 | | | контроля на аппаратуру, в | | | | которой будут использоваться эти | | | | интегральные схемы, с любой из | | | | следующих характеристик: | | | | а) более 1000 выводов; | | | | б) типовое время задержки | | | | основного логического элемента | | | | менее 0,1 нс; или | | | | в) рабочую частоту, превышающую | | | | 3 ГГц; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.10. | Цифровые интегральные схемы, | 8542 | | | иные, нежели указанные в | | | | пунктах 3.1.1.1.3 - 3.1.1.1.9 и | | | | пункте 3.1.1.1.11, созданные на | | | | основе любого полупроводникового | | | | соединения и характеризующиеся | | | | любым из нижеследующего: | | | | а) эквивалентным количеством | | | | логических элементов более 3000 | | | | (в пересчете на элементы с двумя | | | | входами); или | | | | б) частотой переключения выше | | | | 1,2 ГГц; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.1.11. | Процессоры быстрого | 8542 21 45; | | | преобразования Фурье, имеющие | 8542 21 500 0; | | | расчетное время выполнения | 8542 21 83; | | | комплексного N-точечного сложного | 8542 21 850 0; | | | быстрого преобразования Фурье | 8542 60 000 | | | менее (N log N)/20 480 мс, где | | | | 2 | | | | N - количество точек | | | | Техническое примечание. | | | | В случае когда N равно 1024 | | | | точкам, формула в пункте | | | | 3.1.1.1.11 дает результат времени | | | | выполнения 500 мкс | | | | Примечания: | | | | 1. Контрольный статус подложек | | | | (готовых или полуфабрикатов), на | | | | которых воспроизведена конкретная | | | | функция, оценивается по | | | | параметрам, указанным в пункте | | | | 3.1.1.1 | | | | 2. Понятие "интегральные схемы" | | | | включает следующие типы: | | | | монолитные интегральные схемы; | | | | гибридные интегральные схемы; | | | | многокристальные интегральные | | | | схемы; | | | | пленочные интегральные схемы, | | | | включая интегральные схемы типа | | | | "кремний на сапфире"; | | | | оптические интегральные схемы; | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.2. | Компоненты микроволнового или | | | | миллиметрового диапазона: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.2.1. | Нижеперечисленные электронные | | | | вакуумные лампы и катоды: | | |------------------|------------------------------------|-------------------| | 3.1.1.2.1.1. | Лампы бегущей волны импульсного | 8540 79 000 0 | | | или непрерывного действия: | | | | а) работающие на частотах, | | | | превышающих 31 ГГц; | | | | б) имеющие элемент подогрева | | | | катода со временем выхода лампы | | | | на предельную радиочастотную | | | | мощность менее 3 с; | | | | в) лампы с сопряженными | | | | резонаторами или их модификации с | | | | относительной шириной полосы | | | | частот более 7 % или пиком | | | | мощности, превышающим 2,5 кВт; | | | | г) спиральные лампы или их | | | | модификации, имеющие любую из | | | | следующих характеристик: | | | | мгновенную ширину полосы частот | | | | более одной октавы и произведение | | | | средней мощности (выраженной в | | | | кВт) на рабочую частоту | | |